虽然芯片工厂问题不大，有帝都提供，王逸可以省下几十亿。
但里面的生产线，光刻机等设备，都要王逸自己解决。
这些才是最贵的，保守估计后续投入也得一百五十亿起步。
像是光刻机，2010年阿斯麦就推出了EUV光刻机TWINSNXE:3100。
前世，2013年阿斯麦又推出EUV光刻机NXE:3300。
不过这些先进的EUV光刻机，王逸就不考虑了，不现实，不可能对内地企业出售的。
前世中芯国际订购了一台EUV光刻机，花了1.2亿美金，钱都付了，最后因为帝国阻挠，阿斯麦也迟迟没有发货。
相反，内地企业能买到的，也就是落后很多代的DUV光刻机。
比如2016年出的NXT1980Di，是前世内地企业买到的最先进光刻机之一，也是中芯国际主力机型。
拿着NXT1980Di当EUV3300用，真是太强人所难。
如今佳能已经放弃高端，停留在55n，再往上完全干不动。
像是三星台积电的未来几年的28n、22n、20n、16n、14n、10n，很多都是用的NXT：1950i！
若是趁机出手，多订一批，那后续就高枕无忧了。
同样，王逸的12英寸晶圆厂，若是买到NXT：1950i和1960Bi，也能从明年的28n，一直用到22n、20n、16n、14n、10n，甚至7n。
中芯国际，华力等企业，都是用NXT1980Di二重曝光，量产2819n的芯片。
王逸记得，前世EUV光刻机要1.2亿美金，1980Di要7200万美金。
更先进的DUV光刻机NXT:2000i，都买不到，更别说NXT:2050i。
毕竟三星、台积电2016年量产10n芯片的时候，NXT：1980Di光刻机才开始量产！
7n之前的制程，三星台积电用的都是1950i、1960Bi、1970Ci等老型号。
但中芯国际买不到EUV光刻机，只能硬着头皮用NXT1980Di进行三重曝光，四重曝光，甚至五重曝光。
当然，2011年NXT1980Di还没有发布。
而当下的1950i估计会便宜一些。
比如尼康的NSRS620D和阿斯麦的1950i，性能差不了多少，多重曝光后也可以做1028n，甚至7n。
使得中芯国际的28n工艺大规模量产，能满足大多数芯片需求。
阿斯麦不但在DUV光刻机领域独领风骚，而且开始发力EUV光刻机，进军7n以下的制程。
不过老款的1950i运作一下，还是有希望的。
当然，不能只压阿斯麦，小日子那边也得看看。
可7n制程，就要用NXT1980Di四重曝光，技术方面梁老都能解决，但良品率和成本就不好说了。
20台就是70亿！
为什么一次性进这么多？还不是怕做大了被锤！
果然，一台1950i光刻机要4000万欧元，5470万美元，也就是3.5亿人民币。
14n需要三重曝光，凭借梁老的技术，良品率和成本也能保证。
哪怕溢价买，都不成问题！
幸好梁老能力突出，在多重曝光领域造诣颇深，硬是推出N1、N2工艺，用NXT1980Di这种落后的光刻机，实现了14n、10n，甚至7n。
最初，台积电用NXT:1980Di来制造7n芯片，效果很不理想，良品率低，成本高，最后还是换上EUV光刻机，才实现了完美的7n。
同样，要用NXT:1980Di来制造14n、7n的芯片，那就得靠多重曝光技术，对厂家的技术要求非常高，量产芯片的成本也很高。
巧妇难为无米之炊。
当然趁着当下风头不紧，抓紧多进一些！
这样后续产能扩大，都够用，一直用到2018年1980di都不再禁售。
进上十台，就是35亿。
而尼康还在苦苦坚持，高端领域没希望，可是中低端领域还是没问题的。
后续的NXT：1960Bi、1970Ci、1980Di，不过是在NXT：1950i进行了部分升级，提高了良品率和精度，本质上相差不大。
为此，王逸拿出手机，开始查数据。
梁老的两重曝光技术，不但把中芯国际的28n良品率从50提到了90以上，成本也不会增加太多。
原本光刻机三巨头阿斯麦，尼康，佳能。
不过，在国产光刻机突破之前，这也是迫不得已的办法。
只要不量产7n，都没压力。
其实1950i1960Bi1970ci1980Di，这四款光刻机都是同样的光源系统，单次曝光都在38n以上，多重曝光都能生产28n、16n、14n、12n，甚至7n。
而且价格更便宜，只要3000万